当前位置 >>  首页 >> 科研工作 >> 科研万搏体育app首页

科研万搏体育app首页

国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目“二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器”通过验收

稿件来源:科技处 杜佳、设备中心 李楠 发布时间:2021-06-23

  68日至9日,国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目“二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器”验收会在微电子所召开。基金委副主任陆建华,基金委信息科学部主任郝跃、常务副主任张兆田、副主任何杰,中科院副院长李树深,条财局副局长曹凝,微电子所党委书记、副所长(主持工作)戴博伟,微电子所副所长王文武,党委副书记、纪委书记赵志刚,中国科学院江风益院士、吴德馨院士、刘明院士、张跃院士、彭练矛院士及项目组成员共80余人参加会议。 

  该项目由微电子所牵头承担。项目组提出并发明了电场调控原子层沉积技术(E-PEALD),率先实现了RHEED原位实时原子层沉积材料的万搏体育app首页测量与分析,研发出晶圆级MoS2二维材料,制备了MoS2晶体管及逻辑电路,完成了低温石墨烯制备及纳米修饰,实现了国际领先水平的碳基弹道输运晶体管。为北方华创公司提供ALD原理及关键腔室设计和制备,为解决集成电路高K介质制备等难题提供了关键技术支撑;相关技术形成了ALD品牌产品,销售200余台,支持了中微子探测等多项关键重大科学研究;促进了北京碳基集成电路研究院建设。 

  验收专家组由22位技术、财务、档案专家组成,江风益院士任组长。验收会上,专家组听取了项目负责人夏洋研究员的结题汇报、监理组监理情况汇报、仪器测试报告、财务验收意见、档案验收意见,就相关问题进行了质询和讨论,现场考察了研制仪器设备运行情况。 

  验收专家组一致认为,该项目完成了资助项目计划书规定的全部任务,实现了仪器的全部技术指标,达到了预期目标;研制工作取得了丰硕的成果,攻克了电场调控原子层沉积二维材料生长、器件制备和原位分析等关键技术,碳基材料、MoS2等二维材料及器件指标达到国际领先水平;仪器整机达到国际先进水平,具有独创性。 

 

基金委副主任陆建华讲话


项目负责人夏洋做总结报告


专家组现场考察

与会人员合影 

附件: